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氣體管道工程的氣體有哪些？

　　氣體管道工程的氣體有哪些呢?對于氣體管道工程的氣體大家也許并不了解，氣體管道工程分析儀器，氣體管路非標實驗設備，氣體管路連接及接頭的設計加工。從氣瓶房到實驗室氣體管路的氣體管線，實驗室內氣路箱的設計安裝，氣體報警裝置的設計安裝。氣體管道工程可以分為很多種氣體，

一、易燃性氣體

　　把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。

二、惰性氣體(Inert Gas)

　　隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

三、腐蝕性氣體(Corrosive Gas)

　　這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

四、氧化性氣體(Oxide Gas)

　　這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

五、毒性氣體(Toxic Gas)

　　半導體制造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大，它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。