專業(yè)承接管道工程安裝、電氣工程安裝等,多年工程安裝經(jīng)驗(yàn),提供整體解決方案;

　　高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。氣體管道工程，主要產(chǎn)品有于減壓閥，卡套接頭，閥門管件，管道系統(tǒng)安裝、球閥針閥、VCR接頭、焊接接頭、阻火器、過濾器、氣體管道系統(tǒng)、高純管道系統(tǒng)、不銹鋼潔凈管等產(chǎn)品。

　　如何避免輸送過程中系統(tǒng)對(duì)高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統(tǒng)的首要考量。另外，泛半導(dǎo)體行業(yè)所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險(xiǎn)特性。同時(shí)，由于泛半導(dǎo)體行業(yè)工藝復(fù)雜先進(jìn)，對(duì)超高純氣體的質(zhì)量保障和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行提出了嚴(yán)苛的要求。

　　因此，在高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝和運(yùn)行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩(wěn)定性等關(guān)鍵因素。超高純氣體輸送系統(tǒng)在系統(tǒng)開機(jī)調(diào)試之前必須通過保壓測(cè)試、氦檢漏測(cè)試、水分增量測(cè)試、氧分增量測(cè)試、顆粒度增量測(cè)試來(lái)保證系統(tǒng)的高潔凈度和高安全度。

　　高純氣體輸送系統(tǒng)整體解決方案包括:

　　① 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng);

　　② 特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng);

　　③ 純化器系統(tǒng);

　　④ 在線氣體品質(zhì)監(jiān)控系統(tǒng);

　　⑤ 氣體泄露偵測(cè)系統(tǒng);

　　⑥ 氣體設(shè)備運(yùn)行管理系統(tǒng);

　　⑦ 尾氣處理系統(tǒng);

　　⑧ 氣體供應(yīng)管路系統(tǒng)和二次配工程;